マイクロヒータの特徴について

  1. トップページ
  2. 開発事例
  3. マイクロヒータ

MEMSマイクロヒータ

特徴

  • 特徴①　高速応答
    ・約35msecで出力電圧は飽和し安定します。
    ・ヒータの小型化で更なる高速応答が可能となります。
  • 特徴②　低消費電力
    ・数百mWを必要としていたものが、0.5mW以下で駆動できます。
  • 特徴③　雰囲気ガスの検出
    ・ヒータ温度によって、温度、湿度、その他ガスの検出機能を有します。
  • 特徴④　省スペース
    ・精密加工により小型化を実現しました。

素子外観／素子拡大／ヒータ部拡大

素子外観

素子外観

素子寸法: 2.5mm角
最小寸法: 5μm

素子拡大

素子拡大

ヒータ部拡大

ヒータ部拡大

（ヒータ部断面）

搭載例

ガス流量計

ガス流量計

温湿度計

温湿度計

風速計

風速計

その他搭載例：水素センサ、ガスセンサ、圧力センサ、など