受託開発しました加速度センサーや基盤、エッチングなど、事例の一部について

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開発事例

高感度加速度センサー

高感度加速度センサーの写真

地下弾性波計測などに用いられる、高感度広帯域マイクロ加速度センサー。
センサー部のSiおもりを、MEMS技術で形成された薄いバネで支える事により、数μGの微小な振動を検出可能です。

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