開発事例

地下弾性波計測などに用いられる、高感度広帯域マイクロ加速度センサー。
センサー部のSiおもりを、MEMS技術で形成された薄いバネで支える事により、数μGの微小な振動を検出可能です。

シリコンで形成した振動検出部に光ファイバを接続した、光検出型の超小型MEMS加速度センサーです。数Hz〜数100kHzの振動を検出することができ、信号を光ファイバで伝送するため電磁ノイズの影響を受けずに計測が可能です。地震検知、コンクリート構造物の健全性評価や高温・放射能などの環境下での計測など幅広い応用が考えられます。