立体構造へのパターニングの特徴や開発期間などについて

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立体構造へのパターニング

オーダーメイド開発・試作をご検討のお客様へ

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メムス・コアでは高い技術力と幅広いサポート力を活かして、様々なご依頼に対応できる体制ができております。
仕様や条件に合わせてご提案させて頂きますので、まずはお気軽にご相談ください。

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特徴

従来のウェット法では不可能だった、極小ギャップを持つ微小構造体の形成を可能にした犠牲層ドライエッチング技術です。

構造体にダメージを与えずに、シリコン酸化膜/多結晶シリコンなどの犠牲層をエッチングします。また、構造体のスティッキングを防止する撥水性コーティングまでを連続して処理することも可能です。

段差をまたいだ配線形状のプロセス例

(製作例:段差300μm、SU-8 50umt、100umL/S)

段差をまたいだ配線形状のプロセス例
※より微細線幅、高段差に対応したプロセスを現在準備中

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