多種多様なmemsのプロセスニーズに対応した研究開発・試作環境について

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研究開発・試作環境

MEMS技術の細部の写真

新世代MEMSを創出する「ものづくり集団」として、ユーザーと強いリレーションを持ち、柔軟な開発力と独創的な技術力で夢をカタチにします。多種多様なプロセスニーズに対応したMEMSフィールドを確立し、さまざまなMEMSデバイスの試作開発に対応いたします。

ANNEALING & DOPING

ANNEALING & DOPING

設備

  • 酸化炉

DRY ETCHING

DRY ETCHING

設備

  • RIE装置
  • Deep RIE装置
  • 犠牲層ドライエッチング装置
  • イオンミリング装置
  • プラズマアッシング装置
  • ECR RIE装置

DEPOSITION

DEPOSITION

設備

  • 低圧プラズマCVD装置
  • 大気圧プラズマCVD装置
  • EB蒸着装置
  • 3元スパッタ装置
  • スパッタ装置

PHOTOLITHOGRAPH

PHOTOLITHOGRAPH

設備

  • 両面マスクアライナ
  • パターンジェネレーター
  • CAD
  • クリーンオーブン
  • HMDS塗布装置
  • DFR用 ラミネーター

WET PROCESS

WET PROCESS

設備

  • 無機ドラフト
  • 有機ドラフト
  • MS洗浄装置

INSPECTION & MEASUREMENT

INSPECTION & MEASUREMENT

設備

  • SEM
  • 測定顕微鏡
  • 非接触段差計
  • 光学式膜厚計
  • 触針式段差計
  • 金属顕微鏡
  • 実体顕微鏡
  • 応力測定器
  • シート抵抗測定器
  • ウェハ表面検査装置
  • レーザー顕微鏡

OTHERS

OTHERS

設備

  • UV洗浄装置
  • 陽極接合装置
  • CMP装置
  • CMP後洗浄装置
  • ブレードダイシング装置
  • ステルスダイシング装置
  • メッキ装置
  • ワイヤーボンダー

MEMSデバイス開発のお問い合わせ・ご相談