新世代MEMS製品の開発・製品化などフレキシブルに対応。
量産、試作の受託はもちろん、設計から量産までトータルでサポート。開発も大学等との連携で幅広くご対応。
半導体プロセス技術を核にして、1デバイス1プロセスと言われるほど多種多様なMEMSプロセス技術を保有。
ご相談受付から、プロセス提案、見積提示、試作まで経験豊富なスタッフが迅速にご対応。
地下弾性波計測などに用いられる、高感度広帯域マイクロ加速度センサー。
シリコンで形成した振動検出部に光ファイバを接続した、光検出型の超小型MEMS加速度センサー。
レーザー加工面が滑らかなため、埋め込み電極材との密着性がよい。
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