新世代MEMS製品の開発・製品化などフレキシブルに対応。

MEMSデバイスのスペシャルリストとして 試作から設計・生産までをトータルサポート

MEMS COREの特徴

  1. 幅広いサポート力

    量産、試作の受託はもちろん、設計から量産までトータルでサポート。開発も大学等との連携で幅広くご対応。

  2. 多種多様なMEMS特有プロセスに対応

    半導体プロセス技術を核にして、1デバイス1プロセスと言われるほど多種多様なMEMSプロセス技術を保有。

  3. スピーディーな対応

    ご相談受付から、プロセス提案、見積提示、試作まで経験豊富なスタッフが迅速にご対応。

MEMS COREの技術

支援・受託について

MEMS CORE 事例

MEMS 高感度加速度センサー

高感度加速度
センサー

地下弾性波計測などに用いられる、高感度広帯域マイクロ加速度センサー。

MEMS 光ファイバー加速度センサー

光ファイバー加速度センサー

シリコンで形成した振動検出部に光ファイバを接続した、光検出型の超小型MEMS加速度センサー。

MEMS 貫通配線付き封止用ガラス基板

貫通配線付き
封止用ガラス基板

レーザー加工面が滑らかなため、埋め込み電極材との密着性がよい。

MEMSデバイスへの問合せ