■論文
| 論文名：Glass Substrate with High Density Electrical Feedthroughs |  論文(PDF) |
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掲載誌名：Proceedings of the 23th SENSOR SYMPOJIUM on Sensors,Micromachines and Applied Systems. 発表日：2006.10 発表者：東北大学，メムス・コア |
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| 論文名：Glass Substrate with High Density Electrical Feedthroughs | 論文(PDF) |
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掲載誌名：Proceedings of the 23th SENSOR SYMPOJIUM on Sensors,Micromachines and Applied Systems. 発表日：2006.10 発表者：東北大学，メムス・コア |
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