■MEMS用最新ダイシング加工拠点設立のご案内
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ごあいさつ この度、 株式会社メムス・コア(仙台・泉工場）に 最新鋭のステルスダイシング装置（ＭＡＨＯＨ）を設置して、本拠点で皆様のSiウェハをチップに分割するための受託加工業務を開始いたしました。 これを機会に、本拠点でステルスダイシング加工技術のご利用をご検討いただき、皆様のビジネスにご活用くださいますよう、ご案内申し上げます。 ステルスダイシング加工技術では、MEMSウェハやLSIウェハを、「切りシロ」なく、「ドライプロセス」でチップに分割することができますので、従来のダイシング法にない多大な効果が期待できます。 特に脆弱構造を持つＭＥＭＳデバイスの開発にあたりましては、設計・試作・開発の時点から本技術をご利用になることをお勧めいたします。 本拠点は東北大学・江刺正喜教授のご支援のもとで実現いたしました。 製造装置メーカと連携して、ステルスダイシング加工技術をサポートし、この普及に努めてまいります。本拠点の稼動によりＭＥＭＳ全体のビジネス規模の拡大に貢献できますことを期待いたしておりますのでご愛顧のほどよろしくお願いいたします 2009年７月 |
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ご案内