新世代ＭＥＭＳを創出する「ものづくり集団」として、ユーザーと強いリレーションを持ち

柔軟な開発力と独創的な技術力で夢をカタチにします。

多種多様なプロセスニーズに対応したＭＥＭＳフィールドを確立し、さまざまなＭＥＭＳ

デバイスの試作開発に対応致します。

ＡＮＮＥＡＬＩＮＧ ＆ ＤＯＰＩＮＧ

• 酸化炉

ＤＥＰＯＳＩＴＩＯＮ

• 低圧プラズマＣＶＤ装置
• 大気圧プラズマＣＶＤ装置
• ＭＯＣＶＤ装置
• ＥＢ蒸着装置
• ３元スパッタ装置
• スパッタ装置

ＤＲＹ ＥＴＣＨＩＮＧ

• ＲＩＥ装置
• Ｄｅｅｐ ＲＩＥ装置
• 犠牲層ドライエッチング装置
• イオンミリング装置
• プラズマアッシング装置
• ＥＣＲ ＲＩＥ装置

ＰＨＯＴＯＬＩＴＨＯＧＲＡＰＨ

• 両面マスクアライナ
• スピンコータ
• パターンジェネレーター
• ＣＡＤ
• クリーンオーブン
• ＨＭＤＳ塗布装置
• ＤＦＲ用　ラミネーター
  

ＷＥＴ ＰＲＯＣＥＳＳ

• 無機ドラフト
• 有機ドラフト
• ＭＳ洗浄装置
  

INSPECTION & MEASUREMENT

• ＳＥＭ
• 測定顕微鏡
• 非接触段差計
• 光学式膜厚計
• 触針式段差計
• 金属顕微鏡
• 実体顕微鏡
• 応力測定器
• シート抵抗測定器
• ウエハ表面検査装置
• レーザー顕微鏡
  

ＯＴＨＥＲＳ

• 常圧プラズマ表面処理装置
• ＵＶ洗浄装置
• 陽極接合装置
• ＣＭＰ装置
• ＣＭＰ後洗浄装置
• ダイサ
• メッキ装置
• 熱圧着接合装置
• ワイヤーボンダー