MEMS CORE HP

更新状況

半導体集積回路の製造技術を基本として、電子、機械、光、材料、などの多様な技術を融合した

微細加工技術で製作されるＭＥＭＳ（微小電気機械システム）は､あらゆる産業のシステムに

付加価値を与える重要な基幹技術として注目されています。

（株）メムス・コアは、センサーやアクチュエーターなど多分野かつ多種に渡るＭＥＭＳをいち早く

研究･開発してきた東北大学･江刺正喜教授と、長年に渡り半導体製造装置の開発を手掛けてきた

㈱ケミトロニクスの協力によって２００１年１２月に設立されました。

現在は、ＭＥＭＳ製造装置を多数所有して、物つくりのために東北大学とケミトロニクスグループ

各社によって蓄積された技術を機能的に活用し、新世代ＭＥＭＳ製品の開発・製品化を進めて

おります。

技術を創る	ＭＥＭＳ要素技術の開発を行い、付加価値の高い製品の開発に役立てています。

装置を創る	特殊なＭＥＭＳ加工を可能にするＭＥＭＳ専用装置の研究開発を行っております。

ＭＥＭＳを創る	製品化を目標としてＭＥＭＳデバイスの研究開発を行っております。
	また、ＭＥＭＳデバイスの共同開発、開発受託などフレキシブルに対応いたします。