ＭＥＭＳ
開発受託
サービス
立体構造へのパターニング技術
■段差をまたいだ配線形状のプロセス例
製作例：段差300μm、SU-8 50umｔ、100umL/S
※より微細線幅、高段差に対応したプロセスを現在準備中
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