ＭＥＭＳ開発受託サービス
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厚膜レジスト ＳＵ−８を使った試作例 |
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| １．中空構造を形成した例 | |
| ■フォトレジストパターン断面 | |
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シート状の ＳＵ−８ をラミネーターを使って貼り 合せる方法によって、従来のスピン塗布法では できなかった構造、プロセスが可能となりました。 協賛：（株）タカトリ殿、日本化薬(株）殿 |
| ２．凹凸表面に形成した例 |
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| ■フォトレジスト形成面及び断面 |
■断面拡大 |
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